引火性危険物で冷却しないといけない露光機　EUVによる露光プロセスの推移

今回は毛色を変えて、EUV（Extreme UltraViolet：極端紫外線）について説明しよう。昨今EUVをどこまでモノにできるかというのが焦点になっているので、最新の露光プロセスを解説していく。