東京エレクトロン、オランダのimec-ASML 高NAラボと提携。微細化対応技術で

　東京エレクトロンは、オランダのimec-ASML 共同高 NA EUV 研究所(高NAラボ)と提携し、2023年に同ラボが稼働開始予定の次世代高NA EUV露光装置とインライン(一体化)させた塗布現像装置を導入すると発表した。